Keuntungan
• Produk CS100 menggunakan desain khusus pelanggan,
• Pelanggan dapat memilih sumber daya ganda ±15V atau + 24 sumber daya tunggal sesuai kebutuhan;
• segel logam atau segel karet;
• Ukuran produk dapat dipilih untuk produk yang sesuai dengan standar SEMI yang umum secara internasional, atau untuk produk yang ketat.
Parameter teknis
CS100 |
||||||||||||||
Nomor Model |
CS100A |
CS100D |
||||||||||||
Jenis katup |
Sering ditutup |
Tidak ada |
Sering ditutup |
Tidak ada |
||||||||||
Spesifikasi aliran (N2) |
(0~10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM |
(0~10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM |
||||||||||||
Akurasi |
±1.0% S.P. (≥35% F.S.); ±0.35% F.S.(<35% F.S.) |
|||||||||||||
Linear |
±0.5% F.S. |
|||||||||||||
Akurasi pengulangan |
±0.2% F.S. |
|||||||||||||
Waktu tanggapan |
≤ 1sec |
|||||||||||||
Rentang perbedaan tekanan kerja |
0.05~0.35MPa; Spesifikasi aliran ≤10SLM |
<0.02 MPa |
0.05~0.35MPa; Spesifikasi aliran ≤10SLM |
<0.02 MPa |
||||||||||
Faktor suhu |
titik nol: ≤ ± 0,05% FS / ℃; Saat penyesuaian: ≤ ± 0,1% FS / ℃ |
|||||||||||||
Tahan tekanan |
3MPa |
10MPa |
3MPa |
10MPa |
||||||||||
Tingkat kebocoran |
1×10-9Pa·m3/ sec He(1×10-8atm·cc / sec He) |
|||||||||||||
Bahan segel |
Karet fluoride |
Pemegang logam |
||||||||||||
Tekanan kerja maksimal |
0.45MPa |
|||||||||||||
Suhu lingkungan kerja |
(5~45)℃ |
|||||||||||||
Masukkan sinyal |
Simulasi: |
Nomor: RS485 |
Tidak ada |
Tidak ada |
Simulasi: |
Nomor: RS485 |
Tidak ada |
Tidak ada |
||||||
Sinyal output |
Simulasi: |
Nomor: RS485 |
Simulasi: (0-5) VDC |
Nomor: RS485 |
Simulasi: |
Nomor: RS485 |
Simulasi: |
Nomor: RS485 |
||||||
Bentuk sambungan daya |
Tipe D 9 jarum Tipe D 15 jarum |
Tipe D 9 jarum Tipe O 3 jarum |
Tipe D 15 jarum |
Tipe D 9 jarum Tipe D 15 jarum |
Tipe D 9-pin sambungan; Konektor 3-pin tipe O |
Tipe D 15-pin sambungan |
Tipe D 9 jarum Tipe D 15 jarum |
Tipe D 9 jarum Tipe O 3 jarum |
Tipe D 15 jarum |
Tipe D 9 jarum Tipe D 15 jarum |
Tipe D 9-pin sambungan; Konektor 3-pin tipe O |
Tipe D 15-pin sambungan |
||
Pasokan listrik |
±15V |
±15V |
+24V |
±15V |
±15V |
+24V |
±15V |
±15V |
+24V |
±15V |
±15V |
+24V |
||
Bersihkan otomatis |
Dukungan |
|||||||||||||
Kasuran permukaan |
25μinch Ra |
|||||||||||||
Bentuk sambungan standar |
Kartu ganda φ6; Kartu ganda φ3; Kartu ganda 1/4 ''; Kartu ganda 1/8 ''; Konektor VCR1/4´´ φ6 (dalam) x1 sambungan selang; φ5 (dalam) x1.5 sambungan selang; φ4 (dalam) x1 sambungan selang |
Konektor VCR1/4″ |
||||||||||||
Berat |
1.2Kg |
1Kg |
1.2Kg |
1Kg |