Sistem PECVD zona suhu tiga OTL-PECVD-1200-1400-1200, terdiri dari tiga tungku tabung vakum, ruang vakum kuarsa, sumber daya frekuensi radio, sistem pasokan gas GX, sistem pompa gas, sistem pengukuran vakum, mekanisme seret listrik.

Fitur utama:

Mengubah gas dalam ruang vakum kuarsa menjadi keadaan ion melalui sumber daya frekuensi radio.

PECVD memiliki suhu yang lebih rendah daripada CVD biasa untuk depositasi gas kimia.

3, dapat mengontrol ukuran tekanan film yang disimpan melalui frekuensi sumber daya frekuensi radio

PECVD memiliki tingkat depositasi fase kimia yang tinggi, keseragaman yang baik, konsistensi dan stabilitas yang tinggi daripada CVD biasa.

5, banyak digunakan dalam: pertumbuhan berbagai film tipis, seperti: SiOx, SiNx, SiOxNy dan silikon amortip (a-Si: H) dll.

Sistem PECVD zona tiga suhu ini adalah sistem PECVD yang mampu memanaskan dan mendinginkan dengan cepat, dengan pasangan rel geser listrik yang dipasang di tiga tungku pipa, dan sistem geser listrik yang tersedia. Kecepatan pemanasan dan pendinginan hingga 100 ° C / min. Untuk pemanasan tercepat, tungku dapat dipanaskan sebelumnya ke suhu yang ditetapkan dan kemudian memindahkan tungku ke tempat sampelTempatkan. Untuk pendinginan tercepat, tungku dapat dipindahkan ke ujung lain setelah sampel dipanaskan. Kecepatan pemanasan dan pendinginan dapat dicapai dalam lingkungan vakum atau gas inert10 ° C / s, adalah sistem PECVD zona suhu ganda dengan pemanasan cepat dan pendinginan biaya rendah.

Sistem PECVD zona tiga suhu ini menggunakan kawat resistensi Kanthal Swedia dan batang karbon silikon sebagai elemen pemanas, menggunakan struktur kerangka ganda lapisan dan 30 program pengontrol suhu, pemicu fase bergeser, kontrol silikon yang dapat dikendalikan, kompor menggunakan bahan serat polikristal aluminium oksida impor Jepang, kedua ujung tabung tungku menggunakan segel flange stainless steel, flange stainless steel diinstal dengan mulut udara, katupDan pengukur tekanan, vakum saat memompa vakum dapat mencapai 10-3 Pa, dibagi menjadi dua zona suhu, dua zona suhu dapat dikendalikan secara independen, mengatur suhu yang berbeda, mudah digunakan, operasi sederhana, tungku ini memiliki keseimbangan medan suhu, suhu permukaan rendah, tingkat suhu pendinginan cepat, hemat energi dan sebagainya keuntungan, adalah universitas, lembaga penelitian ilmiah, perusahaan pertambangan industri melakukan pembakaran atmosfer suhu tinggi Produk ideal untuk simpul, pertumbuhan grafen, pertumbuhan berbagai film tipis.

(1), ketebalan ujung panas batang karbon silikon adalah 14mm, produsen umum mengadopsi 12MM, ujung pemanasan tebal, tidak mudah melengkung, beban permukaan batang rendah, umur panjang.

（2), panjang ujung dingin adalah 210mm, produsen umum menggunakan 180mm, suhu puncak tungku panjang ujung dingin rendah.

(3), permukaan silikon karbon batang oksidasi film non-kristal padat, dapat melindungi batang karbon yang lebih baik.

Ketika sirkuit berlebihan arus atau kebocoran, pembukaan kosong akan otomatis terputus

Tungku pipa atmosferTapiDilengkapi dengan antarmuka komunikasi dan perangkat lunak, dapat mengontrol berbagai parameter tungku secara langsung melalui komputer, dan dapat mengamati nilai suhu PV dan SV pada tungku dan kondisi operasi instrumen dari komputer, komputer kurva pemanasan sebenarnya akan digambar secara real time, dan dapat menyimpan data suhu setiap saat, kapan saja dapat dipanggil

(1), vakum penyaringan pembentukan berkualitas tinggi murni aluminium oksida polikristal serat keras tungku.
(2) Menggunakan teknologi Jepang.
(3), kapasitas panas bahan tungku rendah, koefisien konduktivitas panas rendah, sehingga kurang pemanasan, isolasi yang baik, reflektif tinggi. keseimbangan suhu.
(4), kawat tungku aluminium oksida halus dan panjang, tahan suhu tinggi, tahan panas dan kapasitas pendinginan yang kuat
(5), permukaan kompor bersih, tidak mudah mengeluarkan bubuk.

(Semua peralatan impor yang disertifikasi UL)